半導体評価装置
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走査型電子顕微鏡 (日本電子
JSM-6700F) 電界放射型電子銃を備える電顕．数nmの分解能を備え，デバイスやプロセスの評価に用いる． |
レーザ干渉段差測定光学顕微鏡 光学顕微鏡観察を行いながら，表面の三次元形状を計測する装置 |
ノマルスキ微分干渉光学顕微鏡(Olympus
BX-60) 表面の微妙な凹凸を見分ける高倍率光学顕微鏡 |
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エネルギー分散型X線分析装置 (日本電子JED-2330) 電子顕微鏡観察を行いながら，表面元素を分析する装置． |
位相差検出蛍光寿命測定装置 (浜松ホトニクスなど) 1ミクロン以上の波長で正弦変調された蛍光の位相差から高感度に蛍光寿命を測定する装置． |
時間分解蛍光寿命測定装置 (浜松ホトニクスなど) 1ミクロン以上の波長で蛍光の時間応答を直接観測する装置．100psの高速波形まで測定可．自然放出制御やパーセル効果の評価に用いる． |
