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光透過特性評価システム
分散特性評価システム
光集積回路評価システム
光変調器評価システム
光レーダー評価システム
狭線幅高出力可変波長レーザシステム（4チャンネル）
狭線幅高出力可変波長レーザシステム（FM変調機能付き）
狭線幅連続可変波長レーザシステム×2
超広帯域連続可変波長レーザシステム
連続可変波長レーザシステム×4
可変波長パッシブモードロックファイバレーザ
可変波長可変周波数アクティブモードロックファイバレーザ
超高感度光スペクトラムアナライザ×3
超高分解能光スペクトラムアナライザ
高分解能光スペクトラムアナライザ×2
可変波長フィルタつき光スペクトラムアナライザ
光サンプリングオシロスコープ (分解能1ps)
光変調アナライザ（QPKS, QAM, PAM対応, 32G）
光パルスアナライザ
透過スペクトル高速計測システム
分散アナライザ（フィルタ機能付き）
自己相関パルス測定システム×2
相互相関パルス測定システム
スーパーコンティニューム発生器
LCバンド光ファイバブースタ増幅器（PM，SM）
LCバンド光ファイバ前置増幅器
LCバンド光ファイバ増幅器
Cバンド超低雑音光ファイバ前置増幅器
Cバンド超短パルス光ファイバブースタ増幅器×4
Cバンド超短パルス偏波保持光ファイバブースタ増幅器
Cバンド超短パルス光ファイバ前置増幅器
Lバンド光ファイバ増幅器×2
Sバンド光ファイバ増幅器
Oバンド光ファイバ増幅器
LCバンド波長・バンド幅可変フィルタ×2
LCバンド偏波保持波長・バンド幅可変フィルタ×2
CバンドLCOSプログラマブル波長フィルタ・分散補償器
CバンドLCOSプログラマブル波長フィルタ×2
Sバンド波長・バンド幅可変フィルタ可変分散補償器
偏光制御素子×6
偏光分析装置（ポーラリミタ）
高精細InGaAsカメラ（1280×1040画素）
InGaAsカメラ×7，赤外ビジコンカメラ×3
広帯域OE変換器（65GHz，30GHz×3，15GHz×2）
超広範囲可変光遅延器（2ns），可変光遅延器×2
プログラマブル可変アッテネータ×2，可変光アッテネータ×2
光パワーメータ×10，光チャンネルセレクタ×7
高非線形ファイバー，分散補償ファイバー
レンズ付き集光モジュール >15本
各種カップラー >20個，サーキュレータ >5個
各種パッチファイバ >150本
ビームプロファイラ
ファイバスコープ，ファイバ断線チェッカ×3
ファイバカッタ，ファイバリムーバ
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PPG / BERT （40G周辺のみ, 10G周辺のみ）
PPG / BERT （32G, 2チャンネル同期）
PPG / BERT （12.5G,
2チャンネル同期）
PPG / BERT （25G）
高速任意波形発生器AWG（64GSa, 4チャンネル同期）×2
汎用任意波形発生器×2
超広帯域シグナルジェネレータ（67GHz）
広帯域シグナルジェネレータ（40GHz×2，20GHz×2，2GHz）周USB制御シグナルジェネレータ×10
波数チャープ信号発生機
高周波ネットワークアナライザ（40GHz）
低周波数ネットワークアナライザ（500M以下）
広帯域スペクトラムアナライザ（43.5GHz,
40GHz，25GHz）
広帯域サンプリングオシロスコープ（光65GHz,
30GHz）
広帯域サンプリングオシロスコープ（電気50GHz,
18GHz）
リアルタイムオシロスコープ（12GHz）
オシロスペクトラムアナライザ（1GHz /
6GHz）
汎用オシロスコープ×4
バイアス内臓高周波アンプ（30G）×8
高周波アンプ（50G×2，40G×2，30G×8，10G×4，2G×4）
高速MUX（64G）
高速逓倍器（32GHz）
周波数イコライザ（64G）
高周波マイクロプローブシステム
高出力低周波アンプ
バイアスT×4，高周波スプリッタ×4，高周波ディバイダ×4
パワーメータ（160GHz）
高周波ケーブル（V，K, SMA, BNC）>50本
高周波変換コネクタ（V-K各種）
マルチチャネルDC電源（最大45チャネル）
定電圧電源 > 20台
汎用ワイヤボンディング装置，プリント基板
 コンピュータ，ソフト，汎用機器
計算用コンピュータ（100台）
パーソナルコンピュータ×〜30
4Kディスプレイ×16，WQHDディスプレイ×5
WUHGA，Full
HDディスプレイ多数
カラープリンタ×2，モノクロプリンタ×1
3Dプリンタ，TEPRAプリンタ
光伝搬，光モード，フォトニックバンド解析ソフト
（R-Soft FullWAVE＋FemSIM×5，DiffractMOD×1）
光伝搬，フォトニックバンド，半導体特性，熱特性解析ソフト
（Lumerical×20＋計算エンジン×100）
電磁波，熱特性解析ソフト（Femtet×1）
光線追跡ソフト（LightTools×2）
光線追跡ソフト（Code V×1）
回路パターン作成用CADソフトウェア
（Cadence, AutoCAD，K-layoutなど）
GDSIIフォーマット変換ソフトウェア
GDSIIパターンビュア
画像解析システム
一眼レフカメラ，高画素数ディジタルカメラ×6
大型デシケータ×4
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クリーンルーム（クラス10000）
電子ビーム描画装置（100kV，測長付き）
電子ビーム描画用CADシステム
誘導結合プラズマエッチング装置1(半導体用)
誘導結合プラズマエッチング装置2(誘電体用)
原子層堆積装置（有機膜対応，6ライン）
真空蒸着装置 ×2
マグネトロンスパッタ装置
簡易金属コータ
赤外ランプアニール装置
抵抗加熱炉
超純水製造装置 ×2
ドラフトチャンバ×4
高精度ウエハスクライバ
研磨設備
プロセス評価装置
電界放射型走査電子顕微鏡
エネルギー分散型X線分析装置
分光エリプソメーター（分解能0.1nm）
レーザ顕微鏡（分解能200nm）
レーザ干渉段差測定光学顕微鏡
カメラ搭載微分干渉明暗視野落射透過光学顕微鏡
カメラ搭載明暗視野光学顕微鏡×2
実体顕微鏡，USB顕微鏡×2
顕微鏡サーモグラフィ時間分解蛍光寿命測定システム
近赤外用高感度高速光電子増倍管
近赤外用高感度光電子増倍管青紫超高出力半導体レーザ×2
青紫高出力半導体レーザ
短パルスモードロック半導体レーザ
高出力YAGレーザ，短パルスYAGレーザ
半導体レ−ザパルス励起光源×4
高輝度LED励起光源
バイオ関連装置
顕微PL装置×2，可搬型顕微PL装置
ゼータ電位測定システム
電気化学アナライザ
-80℃InGaAsカメラシステム
液体窒素冷却InGaAsリニアーアレイ分光システム
冷却型超高感度CCDカメラ付き蛍光顕微鏡
オートサンプラ装置
プラズマ親水化装置
オートクレーブ，加熱滅菌装置
マイクロプレートリーダー
pHメーター
PDMSマイクロ流路
ボルテックスミキサー，シェイカー
ピペッター×10
スクリーンセル
バイオフリーザ（-80℃，-20℃）
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研究設備
